超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是**高品質(zhì)半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)猓艚^空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾龋哂忻摎饴矢?，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

我們想要購買一樣商品時(shí)首要考慮的是我們的所需，也就是所商品的主要用途。我們今天就了解一下實(shí)驗(yàn)室所用的超純水機(jī)的主要用途。實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)可以將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的設(shè)備。因此，實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)可以說是每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都不可缺的一個(gè)重要設(shè)備。
實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)產(chǎn)出的超純水主要用途說明：
1、、制劑室及中心實(shí)驗(yàn)室用純化水和高純水
2、各種用生化儀、分析儀、血液透析儀用水
3、各種液相色譜、離子色譜用水
4、其他各種實(shí)驗(yàn)室用水和用水。
5、分析試劑及配置稀釋用水
6、生理、病理、毒理學(xué)實(shí)驗(yàn)用水
7、動(dòng)、植物細(xì)培養(yǎng)用水
8、原子吸收光譜用水
9、用水

產(chǎn)品介紹
“中水”一詞是相對(duì)于上水〔給水〕、下水〔排水〕而言的。中水回用技術(shù)系指將小區(qū)居民生活廢〔污〕水(沐浴、盥洗、洗衣、廚房、廁所)集中處理后，達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn)回用于小區(qū)的綠化澆灌、車輛沖洗、道路沖洗、家庭坐便器沖洗等，從而達(dá)到節(jié)約用水的目的。 中水就是指循環(huán)再利用的水，是把水質(zhì)較好的生活污水經(jīng)過比較簡(jiǎn)單的技術(shù)處理后，作為非飲用水使用。
中水主要用于洗車、噴灑綠地、沖洗廁所、冷卻用水等，這樣做充分利用了水資源、減少污水直接排放對(duì)環(huán)境造成的污染。對(duì)于淡水資源缺乏、供水嚴(yán)重不足的城市來說，中水系統(tǒng)是緩解水資源不足，防治水污染，保護(hù)環(huán)境的重要途徑。
中水系統(tǒng)的水凈化過程也很簡(jiǎn)單，一般有。一級(jí)階段，主要是靠格柵將水中體積較大的雜質(zhì)與水分離。由于生活中，用水量時(shí)高時(shí)低，所以需要專備個(gè)蓄水池調(diào)節(jié)水量。水中的污染物90％以上是通過二級(jí)處理去除的。主要有生物處理法、物理化學(xué)法和膜法。所有的處理方式都不需要投入人力、物力。
城市可根據(jù)污水處理設(shè)備能力的大小和當(dāng)?shù)厍闆r，選擇不同的回用方式。大體有以下幾種：
①選擇式回用方式，即在污水處理廠周圍的一些居民區(qū)鋪設(shè)管道，實(shí)行分質(zhì)供水回用;
②分區(qū)回用方式，即根據(jù)城市狀況，分區(qū)實(shí)行污水再生利用;
③全城回用方式，即全城鋪設(shè)中水管道，適用于新建城市和有污水處理能力的小城鎮(zhèn)。
中水回用污水處理設(shè)備應(yīng)用在生活小區(qū)、建筑小區(qū)、賓館、療養(yǎng)院、綜合樓等生活污水及部分工業(yè)污水。處理后，中水可用于沖刷廁所、汽車、路途綠化、澆灌綠地及補(bǔ)償鍋爐用水。
工藝設(shè)計(jì)
水處理設(shè)備中水回用處理設(shè)備中水處理工藝的選擇工作必須在大量資料調(diào)研和系統(tǒng)試驗(yàn)研究的基礎(chǔ)上慎重進(jìn)行，如果中水處理工藝標(biāo)準(zhǔn)選擇過高，會(huì)增加中水處理設(shè)施的初期投資、運(yùn)行費(fèi)用和日常維護(hù)費(fèi)用，導(dǎo)致中水處理成本和中水用戶的負(fù)擔(dān)費(fèi)用增加;但如果中水處理工藝標(biāo)準(zhǔn)選擇過低，會(huì)使中水水質(zhì)不能達(dá)到相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，影響中水的正常使用。
國內(nèi)中水處理基本工藝有：二級(jí)處理→消毒;二級(jí)處理后→砂過濾→消毒;二級(jí)處理→混凝→沉淀(澄清、氣浮)→砂過濾→消毒;二級(jí)處理→微孔過濾→消毒。
中水回用設(shè)備分類
按目前已被采用的方法大致可分為三類：
A.生物處理法 利用水中微生物的吸附、氧化分解污水中的有機(jī)物，包括好氧和厭氧微生物處理，一般以好氧處理較多。
B.物理化學(xué)處理法 以混凝沉淀（氣?。┘夹g(shù)及活性炭吸附相結(jié)合為基本方式，與傳統(tǒng)的二級(jí)處理相比，提高了水質(zhì)，但運(yùn)行費(fèi)用較高。
C.膜處理 采用超濾（微濾）或反滲透膜處理，其優(yōu)點(diǎn)是SS去除率很高，占地面積與傳統(tǒng)的二級(jí)處理相比，減少了很多。但目前對(duì)此工藝在實(shí)際應(yīng)用上還存有一定爭(zhēng)議。
設(shè)備特點(diǎn)
1、耐沖擊負(fù)荷能力強(qiáng)，凈化效率高，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，處理過程無氣味；
2、處理流程簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)構(gòu)筑物一體化，可無人職守；
3、無需污泥馴化，掛膜容易，脫膜快，微生物生長快，啟動(dòng)時(shí)間短；
4、占地面積小，投資省，運(yùn)行費(fèi)用低； 5、污泥消耗率高，產(chǎn)泥量小。
技術(shù)參數(shù)
1.《再生水回用于景觀水體的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(CJ/T95-2000);
2.用于生活雜用水應(yīng)符合《生活雜用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(CJ/48-1999);
3.用于工業(yè)循環(huán)冷卻水應(yīng)符合《工業(yè)循環(huán)水冷卻設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB/T50102-2003）。

生活用水系統(tǒng)就是應(yīng)用在酒店中的水處理設(shè)備，由于該設(shè)備的出水質(zhì)量比較好，所以人們可以放心飲用，不會(huì)對(duì)人體造成一定的危害。安裝生活用水系統(tǒng)也是職工的一種福利，保證它們的飲水健康。生活用水系統(tǒng)能夠有效的去除各種雜質(zhì)、、熱源等有害物質(zhì)，保證設(shè)備的出水水質(zhì)的良好。本文主要介紹的是直飲水設(shè)備的特點(diǎn)。
100噸生活用水系統(tǒng)石英砂過濾器工作原理
石英砂過濾器主要是利用石英砂填料來降低水中濁度，截留除去水中懸浮物、有機(jī)物、膠質(zhì)顆粒、微生物、氯嗅味及部分重金屬離子，使給水得到凈化的水處理傳統(tǒng)方法之一。一種或幾種過濾介質(zhì)在一定的壓力下，使原液通過該介質(zhì)，去除雜質(zhì)，從而達(dá)到過濾的目的。其內(nèi)裝的填料一般為：石英砂、無煙煤、顆粒多孔陶瓷、錳砂等，用戶可根據(jù)實(shí)際情況選擇使用。進(jìn)水濁度要求小于20度，出水濁度可達(dá)3度以下。利用石英砂有較好的載污能力，水通過石英砂時(shí)，水中的懸浮物和膠體雜質(zhì)被吸附截留，水中雜質(zhì)從而被去除，出水達(dá)到透明。使用該設(shè)備，可保證給水污染指數(shù)SDI<5，給水濁度<1NTU。
100噸生活用水系統(tǒng)活性碳過濾器工作原理
活性炭制造工藝包括兩個(gè)過程：一是脫水和炭化；二是活化。由此形成了特有的多孔隙結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的表面積，具有強(qiáng)大的物理吸附能力。此外，在活化過程中、活性炭表面的非結(jié)構(gòu)部分上形成一些含氧官能團(tuán)，如：羥基，羧基這些基團(tuán)使活性炭具有化學(xué)吸附和催化氧化、還原的性能。
100噸生活用水系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、采用進(jìn)口活性炭纖維濾材，吸附余氯和有機(jī)物。
2、卡接式自動(dòng)斷水設(shè)計(jì)，精巧的設(shè)計(jì)，讓濾芯輕松更換。
3、可根據(jù)各地水質(zhì)不同、搭配不同的功能濾芯，組成適合當(dāng)?shù)厮|(zhì)的凈水產(chǎn)品。
4、經(jīng)耐壓測(cè)試，杜絕漏水隱患。
5、一體式濾芯設(shè)計(jì)，避免接觸污染。
6、采用食品級(jí)PP材料，確保安全。
http://www.jlhfjf.com.cn